卓胜微再获晶圆分离技术专利,生产效率或迎新突破
2025-04-22
卓胜微申请的‘键合晶圆分离设备及方法’专利公布,该专利通过多喷嘴均匀分离键合晶圆,减少对晶圆的损伤,提升生产效率和产品良率。
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