国林科技半导体清洗设备适配光刻机，合作逐步推进但收入占比低

国林科技在半导体领域的清洗设备可适配光刻机工艺，臭氧应用涵盖半导体制造多个环节。子公司产品包括臭氧发生器、高浓度臭氧水系统等，已与部分清洗设备厂商、光伏及面板头部企业建立合作，但收入占比仍较小。目前与新凯来暂无业务合作，产品验证工作正在进行。