国林科技披露半导体臭氧产品线，覆盖核心工艺

国林科技在互动平台回复投资者提问时透露，其子公司国林半导体拥有适用于半导体工艺的臭氧相关产品线。

产品系列包括半导体级超纯臭氧气体发生器、臭氧气体输送系统、高浓度臭氧水系统、臭氧气体尾气分解器以及配套的检测仪器。

公司进一步阐述了臭氧在半导体制造中的广泛应用场景，涵盖了化学气相沉积、晶圆清洗、光刻胶去除等多种关键工艺制程。