国林科技：臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程

国林科技子公司国林半导体的产品包括臭氧气体发生器、臭氧气体输送设备等，应用于半导体、光伏、电子光电等微观制程领域。公司确认其技术在提高工艺精度和降低污染方面具有显著优势，但目前该业务占公司营业收入比重较小。