英杰电气回应光刻机电源布局：专注半导体核心工序，电源非光刻机技术瓶颈

英杰电气在投资者关系平台回应关于DUV光刻机电源技术储备的问题。投资者询问公司在光刻机电源方面是否有技术攻关，公司董秘表示光刻机核心技术难点在于光学系统和精密机械，电源并非核心瓶颈。公司当前半导体电源技术主要应用于刻蚀、沉积等工序及材料制造设备。