英杰电气射频电源实现量产 覆盖5nm先进制程

智研咨询报告显示，我国等离子体射频电源系统行业在政策支持下发展迅速，2024年市场规模达123.3亿元，同比增长9.50%。该行业技术壁垒高，目前由MKS、AE等国际巨头主导，国产化率较低。英杰电气作为国内参与者，近年加大半导体及电子材料领域投入，重点攻关刻蚀、薄膜沉积等关键制程电源技术，部分型号射频电源已实现量产，覆盖5nm刻蚀及PECVD等先进制程，并申请了数十项相关专利。