光刻机产业链，最正宗的9家公司

同飞股份（300056）在光刻机产业链中负责浸没式光刻机温控系统的研发和生产，其技术突破达到了±0.01℃的精度，确保了光刻机的热稳定性。公司主要配套上海微电子（SMEE）和中芯国际产线，是光刻机核心设备及零部件国产替代的重要参与者。