【经营】联合化学参股公司交付国产光刻机曝光光学系统
金融界网站
2026-07-30
联合化学参股公司芯颐和已向国内头部光刻机厂商交付首套自主研发的曝光光学系统,该产品用于半导体前道光刻设备整机集成。
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