汇成真空澄清:暂无锡滴过滤与真空蒸馏回收系统产品
2025-08-26
2025年8月26日,有投资者在互动平台询问汇成真空,公司开发的锡滴过滤与真空蒸馏回收系统是否已集成于上海微电子LPP—EUV光源,锡纯度是否稳定达到EUV光源要求,以及是否进入中芯国际等晶圆厂的EUV验证线测试。汇成真空回应表示公司暂无该产品。
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