珂玛科技12英寸静电卡盘实现小规模量产
2025-11-12
珂玛科技先进陶瓷产品应用于晶圆制造前道工艺设备,已进入刻蚀、薄膜沉积等多类设备领域;目前12英寸静电卡盘完成验证并实现小规模量产,12寸多区加热静电卡盘已完成开发,正推进验证。
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