矽电股份光刻机相关专利用于曝光机生产
2025-11-13
投资者询问矽电股份17项光刻机相关专利是否服务于子系统而非整机,公司回应称这些专利已应用于曝光机生产,该曝光机主要用于功率半导体领域的晶圆曝光。
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