【经营】昊华科技披露电子特气应用及含氟化学品研发进展
2026-02-09
昊华科技在互动平台回复投资者提问,披露了公司电子特气产品的具体应用领域。公司电子特气产品包括电子级三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫等,主要应用于集成电路制造的清洗、刻蚀、离子注入、化学气相沉积等制程工艺。
此外,公司表示基于其电解制氟核心技术,可延伸开发高纯氟气混配气体产品,相关产品目前处于研发阶段。
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此外,公司表示基于其电解制氟核心技术,可延伸开发高纯氟气混配气体产品,相关产品目前处于研发阶段。
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