中微北方华创大手笔加码，半导体设备国产化提速，万业企业平台化仍处探索期

中微公司增资40亿强化技术研发，北方华创通过增资子公司拓展投资布局，推动半导体设备国产化进程。万业企业作为平台型企业发展初期，行业整体国产化率提升至13.6%，但在光刻、量测等关键领域仍待突破。