凯世通国产离子注入机12英寸晶圆产品片过货量突破500万片，核心技术再获突破

万业企业旗下凯世通国产低能大束流离子注入机12英寸晶圆产品片过货量突破500万片。离子注入机是芯片制造三大关键设备之一，技术难度仅次于光刻机，此次突破标志着国产半导体设备在核心技术领域取得新进展。