万业企业：凯世通成功交付超低温离子注入机

万业企业旗下凯世通2023年累计交付20余台高端离子注入机，服务11家12英寸晶圆厂客户，并在过去四年累计签署近60台12英寸集成电路离子注入机订单，总金额接近14亿元，已完成交付30台。近期，凯世通成功交付超低温离子注入机，攻克关键技术，满足主流晶圆厂量产需求。