上海，万业企业，入股埃米仪器

万业企业入股高精密3D量测设备生产商埃米仪器。埃米仪器致力于国内精密3D量测设备的国产化，成功研发并交付国内首台在线工业级原子力显微镜，推动芯片制造良率提升及制程研发周期缩短，对3D NAND、HBM等高密度3D集成技术发展至关重要。