张江高科间接持股芯上微装，光刻机领域新动作

近日，芯上微装收购威耀实业，芯上微装是一家专注于高端半导体装备研发、生产和服务的创新型科技企业。

张江高科通过全资子公司张江浩成持有芯上微装14.197%的股份，是单一第三大股东。

芯上微装在封装用光刻机等设备领域具有实力，已交付第500台步进光刻机并自主研发了首台350nm步进光刻机。