【经营】上海电气子公司上海微电子新一代光刻机模型亮相进博会

上海电气集团下属上海微电子（SMEE）在第九届中国国际进口博览会上，正式展出自主研发的新一代前道干式光刻机通用技术平台模型。

该平台适配I-line、KrF两类主流技术路线，整机核心的高精度物镜与照明系统、高速双工件台、一体化自动物料传输系统、高精度对准调平传感系统均实现全链条自主可控。

目前国产前道干式光刻机成像性能已与国际同类领先产品水平相当，多台设备已在国内头部逻辑、存储量产线长期稳定运行，累计支持产线流片超千万片，设备有效运行率超92%。