光刻机产业链，最正宗的9家公司

舆情内容提到晶方科技在光刻机产业链中的关键角色，特别是在光路检测模组方面取得了重要突破，通过了ASML认证，并预计2024年出货1.2万套。公司替代美国KLA—Tencor检测模块，具有30%的价格优势。