盛剑科技：半导体附属设备及核心零部件作为公司的核心战略业务之一

盛剑科技在回复投资者提问时表示，公司生产的半导体附属设备及核心零部件已逐步实现国产化研制，涵盖工艺废气处理设备、真空设备和温控设备，并应用于刻蚀、离子注入等关键制程环节。公司未来将提升自产化率，打造一体化的国产先进半导体附属设备及关键零部件平台。