至微科技单片硫酸清洗机单机量产越过70万片—高阶工艺设备“拼图”

至微科技的Ultron S300—SPM设备成功应用于国内头部客户的12英寸逻辑量产线，单机累计产能超过70万片次。该设备在去除光刻胶和清洗工艺方面表现出色，性能与国际大厂相匹配，并广泛应用于多个领域。