至纯科技回购落地 技术突破订单增长显优势

截至2025年9月末，至纯科技已累计回购320.25万股，金额8002.16万元，回购股份拟用于员工持股或股权激励。2025年半年度报告显示，公司高纯工艺系统在大陆12寸晶圆厂2016—2024年特气中标市占率达48.8%，化学品设备及系统市占率超30%，具备从研发、设计、制造到完整供应链的竞争优势。2025年8月18日机构调研信息显示，公司湿法设备已实现28nm全工艺覆盖并获得订单，高温硫酸SPM设备为国产首台12英寸量产机型，单机累计产量超70万片次，先进制程验证进度国内领先。此外，2024年年度报告显示，公司新增订单55.77亿元，同比增长17.88%，其中集成电路订单占比84.55%，客户涵盖中芯国际、华虹、长鑫、长江存储等一线晶圆厂。