【经营】至纯科技28纳米节点设备开发全部完成，全工艺机台均有订单

至纯科技在互动平台回复投资者提问时披露，公司28纳米节点设备开发已全部完成，且全工艺机台均有订单，在更先进制程节点也已取得部分工艺订单。

公司半导体制程设备聚焦晶圆制造前道工艺，主要应用于扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积等关键工序段前后，能够覆盖逻辑电路、高密度存储、化合物半导体特色工艺等多个细分领域的市场需求。