至纯科技：国泰君安证券股份有限公司关于上海至纯洁净系统科技股份有限公司部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的核查意见

国泰君安证券作为保荐机构，对至纯科技部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金进行了核查。至纯科技2020年非公开发行股票募集资金净额为13.54亿元，多个募投项目已基本完成，包括光电子材料及器件制造基地建设项目、半导体湿法清洗设备扩产项目等。此次拟将‘光电子材料及器件制造基地建设项目’节余募集资金3,095.77万元永久补充流动资金。