【经营】泰晶科技自主研发MEMS光刻专用制程设备
2026-05-20
泰晶科技在接受调研时透露,公司深耕半导体光刻工艺前沿技术应用于石英晶振,自主研发了适配石英晶片加工的MEMS光刻专用制程设备,并明确表示不生产销售光刻机。
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