洪田股份三领域技术突破助力国产替代

洪田股份在光刻机、固态电池及电解铜箔设备领域取得技术突破。子公司洪瑞微电子供应的掩模版直写光刻机实现国产替代，可满足3μm产品量产需求。其真空镀膜设备已与客户接洽合作，关键零部件电子枪已到货。电解铜箔设备能稳定生产3.5μm极薄锂电铜箔，关键性能指标行业领先。