洪田股份多领域技术突破，光刻机与固态电池设备迎国产替代进展

洪田股份近期在多个技术领域取得突破。子公司洪瑞微电子的掩模版直写光刻机实现国产替代，最小线宽2.5μm，满足3μm产品量产需求；其超精密真空镀膜设备用于固态电池产业链，进口电子枪已到货并与客户接洽；公司电解铜箔设备技术领先，可稳定生产3.5μm锂电铜箔及5G用铜箔，6μm设备收卷长度突破5万米。