天准科技突破14nm检测技术，半导体国产化再提速

在SEMICON China大会上，天准科技旗下矽行半导体研发的明场纳米图形晶圆缺陷检测装备TB2000通过厂内验证，具备14nm及以下先进制程的量产检测能力。同时，国产设备平台化布局加速，零部件国产化进程受关注，新凯来、北方华创、中微公司等厂商均推出新品或技术突破，零部件领域如富创精密、新莱应材等企业国产替代进展顺利。