【经营】天准科技:半导体设备关键部件已实现自主可控
2026-06-11
天准科技在投资者互动平台表示,其德国子公司Muetec专注于半导体前道晶圆量测设备(Overlay、OCD等),苏州矽行半导体专注于前道晶圆缺陷检测设备(明场、暗场等),关键部件均已实现自主可控。
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