中微研发投入翻倍 多设备突破获订单

中微公司2024年研发投入约24.52亿元，同比增长94.31%，在研六类设备超二十款。LPCVD薄膜设备出货超150台，ALD设备获重复订单；EPI设备进入量产验证，MOCVD在Micro-LED领域进展顺利，同时布局碳化硅、氮化镓市场。