中微研发投入暴增近翻倍 多设备突破市场

中微公司2024年研发投入约24.52亿元，同比增长94.31%，在研六类设备超20款。LPCVD薄膜设备出货超150台并获重复订单，ALD设备及EPI设备进入量产验证。MOCVD设备在Micro-LED领域进展良好，同时布局碳化硅、氮化镓市场。