中微公司再获核心专利！研发投入暴增近翻倍，技术护城河持续加固

中微公司（688012）于2025年4月8日获得新发明专利授权，专利名称为“气体喷淋头、制作方法及包括气体喷淋头的等离子体装置”。该专利通过优化气体分布设计，可提升等离子体装置性能。今年以来公司新获专利45项，同比减少10%，但2024年上半年研发投入达5.68亿元，同比大增94.58%。