中微半导体南昌再落子！第三代设备获重复订单验证技术实力

中微公司与南昌高新区签约微观加工设备研发中心项目，扩大在南昌的研发投入。其第三代半导体设备MOCVD（金属有机化学气沉积）Prismo PD5已交付国内外客户用于氮化镓功率器件生产，并获得重复订单，显示技术商业化进展顺利。