中微半导体再亮剑：电子束检测破局国产替代加速

科创板六周年报道指出，中微公司作为半导体设备领域代表企业，在2024年成功将六种LPCVD薄膜设备推向市场，并宣布进军电子束量检测设备研发，持续攻克'卡脖子'技术。公司与盛美半导体、拓荆科技等共同构成国内刻蚀、薄膜沉积等关键设备的先进研发力量，推动中国芯片自给率提升至30%。其技术突破助力国产替代进程，尤其在先进存储器件和逻辑器件领域展现竞争力。