中微公司加码电子束检测设备研发，子公司半年两度增资扩股

中微公司控股子公司超微半导体拟增资至1.6亿元并引入新股东，这是董事长尹志尧半年内第二次增资。超微公司专注开发我国芯片制造关键短板——电子束检测设备，该设备对AI等新质生产力发展至关重要。增资后中微持股降至47.2%，但通过表决权委托仍保持控制权。同时实施股权激励，核心高管靳巨获1500万元股权，其拥有丰富半导体行业经验。中微强调此举是产业链延伸的重要布局，提升抗风险能力。