中微公司薄膜设备多点突破，平台型战略加速落地

中微公司2024年LPCVD设备实现首台销售，薄膜设备业务加速布局。董事长尹志尧表示，公司正从刻蚀设备向平台型公司转型，研发投入向薄膜设备倾斜，预计三到五年内薄膜设备收入将快速增长。在研的PECVD、ALD、EPI等设备研发进程顺利，部分已进入客户验证阶段。刻蚀设备ICP新增订单持续高增长，研发投入效率提升，新产品开发周期缩短至18个月。