国产半导体设备再突破！中微多款先进设备通过验证，研发投入狂飙94%！

中微公司多款先进逻辑设备通过客户验证，新产品在先进逻辑产线取得份额。2024年研发投入达24.52亿元，同比增长94%，聚焦六大类20余种新设备开发，研发效率提升显著。高深宽比设备批量出货存储客户，下一代设备有望领先；金属钨产品获批量订单，量检测业务布局高端市场。供应链国产化进展良好，关键部件复用率达60%-70%，与全球880家供应商合作。先进封装领域发布刻蚀、CVD等新品，MOCVD业务调整后转向Micro-LED等新应用，预计恢复增长。