中微公司斩获中国专利银奖,凸显半导体设备硬科技实力
2025-06-08
中微公司获得第二十五届中国专利奖银奖,其专利涉及MOCVD设备核心技术。科创板公司整体研发投入大,2024年研发投入超1680亿元,中微公司累计获1金1银3项专利奖。专利银奖技术助力国产半导体设备突破,推动行业技术升级。
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