中微公司再获中国专利银奖 技术创新再获国家级认可

中微公司及子公司南昌中微半导体设备有限公司的一项专利荣获第二十五届中国专利银奖。该专利涉及化学气相沉积装置及其清洁方法。至此，中微公司累计获得2项中国专利金奖、1项银奖和3项优秀奖，彰显其在技术创新和知识产权领域的成就。