中微公司股价微跌但动作频频：拟投7.35亿设半导体基金，斩获专利奖

中微公司股价小幅下跌0.83%，报169.88元，成交额11.13亿元。公司拟通过全资子公司出资不超过7.35亿元参与设立15亿元半导体产业基金，重点投资半导体领域。同时，公司获第二十五届中国专利奖银奖，其化学气相沉积装置专利在MOCVD设备领域具有技术价值。当日主力资金净流出7926万元，第一季度营收同比增长35.4%。