中微公司12寸金属刻蚀设备全球首台付运，彰显技术实力

中微公司宣布其Primo Menova 12寸金属刻蚀设备全球首台机顺利付运国内重要集成电路制造服务商。该设备专用于金属刻蚀工艺，覆盖功率半导体、存储器件和先进逻辑芯片制造领域，具备高速率、高选择比、低损伤等性能优势，并支持灵活生产配置。此次里程碑标志着公司在等离子体刻蚀技术的自主创新和研发实力提升，进一步巩固其在半导体设备市场的竞争力。