中微5nm刻蚀设备获台积电正式订单，技术实力再获认可

中微公司获得台积电南京厂10台5nm介质刻蚀机订单，设备将于2026年第一季度交付。这是中微自主研发的5nm刻蚀设备首次进入台积电先进制程供应链，标志着其技术实力得到全球顶尖芯片制造商认可。