中微公司半年报：业绩高增 订单研发双支撑

中微公司2025年上半年业绩高增，等离子刻蚀设备营收同比增40%，新产品LPCVD和ALD导体化学沉积设备销售增608.2%。合同负债31.7亿元同比增24.8%，存货80.8亿元同比增19.2%，研发投入14.92亿元同比增53.7%，占营收比例30.07%。