中微公司成都30亿半导体基地项目开工
2025-10-21
2025年10月17日,中微公司成都研发及生产基地暨西南总部项目正式开工。该项目总投资约30.5亿元,一期占地50亩,计划2027年建成投产,将专注于化学气相沉积设备(CVD)、原子层沉积设备(ALD)等高端半导体前道设备的研发和生产,以提升公司在薄膜沉积设备领域的研发制造能力。
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