中微2025上半年业绩双增，技术专利亮眼

智研咨询报告显示，等离子表面处理设备行业需求旺盛。中微公司2025上半年营收49.61亿元同比增43.88%，归母净利润7.06亿元同比增36.62%；其等离子体技术提升设备稳定性，客户含中芯国际等头部企业，2025年新专利推动设备自动化，专利布局达1425项，助力半导体制造智能化绿色化。