中微公司研发加码设备业务营收大幅增长

中微公司2025年上半年研发投入同比增53.7%，占营收30.07%。刻蚀设备应用于国际一线客户65至5纳米及先进封装生产线，MOCVD设备在领先客户量产，成为世界前列氮化镓LED设备商。新开发的LPCVD、ALD薄膜设备获大批量重复订单，上半年刻蚀设备营收增40.12%，LPCVD营收增608.19%。成立子公司布局量检测设备，平台型设备公司布局初步形成。