中微Q3业绩增长 核心技术获多项突破

中微公司2025年Q3营收31.02亿元同比增50.62%，归母净利润5.05亿元同比增27.5%；前三季度营收80.63亿元增46.4%，净利润12.11亿元增32.66%。研发支出前三季度达25.23亿元增63.44%，占营收31.29%。技术上，高端刻蚀产品付运提升，60比1刻蚀设备成国内标配，下一代90比1即将上市；ICP刻蚀设备精度达单原子水平；薄膜设备性能国际领先且覆盖率增加；外延设备获客户认可，泛半导体领域设备在验证。