中微公司研发加码 设备业务获批量订单

中微公司2025年上半年研发投入同比增长53.7%至14.92亿元，占营收比重30.07%，在研项目涵盖六类设备。其等离子体刻蚀设备已应用于国际一线客户65至5纳米及先进封装生产线，MOCVD设备在行业领先客户量产，是世界前列的氮化镓基LED设备制造商。近两年新开发的LPCVD和ALD薄膜设备获大批量重复性订单，先进制程及存储器件高端产品逐步量产。此外，公司成立子公司超微公司布局量检测设备，平台型设备公司布局初步形成，被列入半导体设备板块重点关注标的