中微前三季度营收增46% 薄膜设备收入暴增13倍

2025年前三季度，中微公司营收80.63亿元，同比增长46.40%；刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长38.26%，薄膜设备收入4.03亿元，同比大增1332.69%。公司开发的LPCVD、ALD等薄膜设备已进入市场，性能达国际领先水平，覆盖率不断增加。刻蚀设备方面，CCP设备覆盖28纳米以上绝大部分应用，ICP设备进入50条客户生产线。