中微公司发明专利再获中国专利奖殊荣

中微公司与南昌中微半导体共同拥有的发明专利“一种化学气相沉积装置及其清洁方法”荣获第二十五届中国专利奖银奖。该专利解决了MOCVD设备领域的关键难题，提升了设备的可靠性和生产效率，并巩固了中微公司在全球MOCVD设备市场的领先地位。